경북 구미, 반도체용 초순수 생산기술 국산화 나선다

SK실트론㈜ 구미2공장에 실증플랜트 착공

한정애 환경부 장관을 비롯한 주요 인사들이 SK실트론 구미 2공장에서 반도체용 초순수 실증플랜트 착공식을 하고 있다. 구미시 제공

한정애 환경부 장관을 비롯한 주요 인사들이 SK실트론 구미 2공장 설비를 둘러보고 있다. 구미시 제공

정부·산하 기관, SK실트론㈜이 경북 구미에서 반도체용 초순수 생산기술 국산화에 나서 관심을 모으고 있다.

환경부, 한국수자원공사, 한국환경산업기술원, SK실트론은 지난 16일 구미국가산업단지 내 SK실트론 구미 2공장에서 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트 착공식을 했다.

이날 착공식에는 한정애 환경부 장관, 박재현 한국수자원공사 사장, 유제철 한국환경사업기술원장 등 관계자들이 참석했다.

실증플랜트 착공식은 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 첫걸음으로, 사업비 480억원을 들여오는 2025년 완공될 예정이다.

민‧관이 공동으로 ▷초 저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 ▷초 저농도 용존산소 제거용 탈기막 ▷고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 기술 등 고순도 공업용수 전반에 걸친 국산화 연구를 수행한다.

실증플랜트는 초순수 생산기술을 신속하게 개발하고 성능을 확인할 수 있도록 반도체 소재 생산기업인 SK실트론 구미2공장 내에 설치해 해외기술과 국내기술을 직접 비교하고 실제 초순수를 공급해 관련 기술의 실적을 확보한다는 의미가 있다.

한국수자원공사와 연구개발 참여기업은 2025년까지 하루 2천400t의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 설치 운영해 관련 생산공정의 설계‧운영 기술 100%, 시공 기술 및 기자재 60% 국산화를 목표로 하고 있다.

그간 국내 반도체 기업에선 반도체용 초순수의 생산과 공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존해 왔다.

장세용 구미시장은 "현재 반도체 시장에서는 독자적 기술경쟁력을 바탕으로 산업기술 패권을 위해 국가 간 총성 없는 전쟁을 벌이고 있다. 소재부품 독립화를 위해 구미시도 기업과 함께 그 보조를 맞추겠다"고 착공식을 축하했다.

※키워드=초순수(Ultra Pure Water)는 초미세 회로(나노미터)로 구성된 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는 데 사용되는 필수 공업용수다. 초순수 내에 불순물이 거의 없는 상태를 유지해야 하는 최고난도 수처리 기술로 전 세계적으로 일부 선진국만이 초순수 생산기술을 보유하고 있다.